※ あらかじめわかる場合は、次の情報を併せてご入力ください。(①成膜物質, 膜厚 ②基板サイズ, 枚数 ③基板取り扱い:下地やパターンの有無, 耐熱性, 耐薬品性などの注意点)
※"-"なし、半角数字で入力してください。
※"-"で区切って入力してください。
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